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康鼎凈化無塵車間工程 |
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| 無塵車間的環境控制與檢測 在集成電路的制造過程中，被加工的是單一的硅片，從原材料到產品需要進行幾百道物 理、化學加工工序，其間如果遭受污染，就會引起產品大量報廢，例如64MDRAM，在制造過程中，空氣中塵埃粒徑應被控制在0.035ym以下；環境微振動值應控制在4.5×10—3 mm/s以下，在光刻工序，很小的微振動會引起對位不準，影響產品的成品率 為了滿足集成電路日益精細的加工要求，各國在微污染控制技術領域內投入了可觀的人 力、物力進行系統研究，取得了大量科技成果，涌現了一批高科技產品，諸如超高效過濾 器（過濾效率達99.999 99%）的問世及IS0 3級(O.lpm)無塵車間的建立；超純水及超純 氣體的應用；隧道式無塵車間及微環境系統無塵車間的出現和使用，大大降低了污染。 隨著科學技術的發展、進步，防微振技術必須不斷地探索、提高和深化，這將是歷史的必然。而解決好防微振技術。 防微振的重要性體現在各行各業：例如感光化學工業，彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19pLm，在涂布過程中由于微小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻，在膠片上產生橫紋；在慣導技術方面，為了提高導彈的打擊精度，準確命中目標，需要對陀螺儀、加速度計及組合制導（衛星、導航、地形匹配及景物匹配）系統的精度提出高的要求，這種高精度慣導系統的調試和檢測，必須在極為寧靜的環境中進行；對于微電子工業，線寬0. 1y.m (4G DRAM)產品已進入市場，硅片加工中的光刻工序對微振動的控制要求極為嚴格；其他 如精密機械加工、光學器件檢測、激光實驗、超薄金屬軋制以及理化風淋室系列實驗等都需要對微振動進行控制。 在防微振 領域，從廠房結構形式、動力設備布置及隔振措施到精密設備防微振措施等方面獨特的建 樹，為集成電路生產提供了一個優良的環境。可以認為風淋傳遞窗，當今微污染控制領域諸多科技成果 的出現無不與集成電路生產的飛速發展有關。 集成電路工廠的前工序（硅片加工）對微環境控制最為嚴格。在防微振方面，要求工廠 ， 建造在遠離鐵路、機場、公路干線且綠化較好的地區，廠區總平面布置要求單建的動力站房 與潔凈廠房之間留有足夠的距離。 我國對防微振的研究及工程實踐始于20世紀60年代初期，經歷了幾代人的努力，不僅 建立和完善了防微振理論，開發了防微振用系列化隔振產品，還進行了大量的工程實踐，成功地解決了彩色膠片涂布、慣導系統測試、集成電路光刻工序、空間光學系統檢測、激光實驗、超薄金屬軋制、文物保護等方面的防微振問題，為我國現代化科技的發展做出了貢獻。 溫州康鼎凈化工程有限公司是專業從事無菌室（實驗室、手術室）、潔凈室（無塵車間等項目）裝修以及高品質凈化設備生產銷售。公司追尋"信任，創新，完美，效率"的經營理念、立足長江三角洲，用心為客戶提供"最高的性價比",工程質量超越國際一流標準。 聯系電話： 0577-88906188/15557555596 網站地址： www.wzkd.net 公司地址： 溫州市鹿城區炬光園炬新路21號 |
